ساخت قالب اولیه میکروحلقه به روش لیتوگرافی نوری
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه ولی عصر (عج) - رفسنجان - دانشکده علوم پایه
- نویسنده محمد رضا غفارزاده
- استاد راهنما مهدی سویزی سید محمد باقر ملک حسینی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1390
چکیده
هدف از این پژوهش دستیابی به فناوری ساخت قطعات میکرواپتیک و میکروالکترونیک می باشد. این پژوهش در دو مرحله انجام میشود. در مرحله اول ماسک و در مرحله دوم نمونه اصلی ساخته میشود. در مرحله اول ماسک با بزرگنمایی x8 نسبت به نمونه اصلی ساخته میشود. برای ساخت ماسک، طرحی به اندازه 40×40 میلیمتر آماده و توسط دستگاه فوتوپلاتر با کیفیت 8000 نقطه بر اینچ چاپ شد. یک لایه فلز کروم به روش تبخیر حرارتی توسط باریکه الکترونی روی یک لام لایهنشانی و بر روی آن فوتورزیست پوزیتیو 20 لایهنشانی گردید. سپس پوزیتیو 20 با استفاده از دیودهای ماوراءبنفش، ماسک اولیه و دوربین عکاسی با کوچک نمایی x8 نوردهی شد. پس از نوردهی، فرایندهای ظهور و حکاکی انجام شد. در مرحله دوم ابتدا فوتورزیست map 1275 بر روی لام لایهنشانی شد. سپس نمونه اصلی به کمک ماسک ثانویه، میکروماشینی با کوچک نمایی x8 و لیزر اگزایمر نوردهی شد. بعد از نوردهی فرایند ظهور انجام و نمونه اصلی ساخته شد. نمونه اصلی شامل میکروحلقهای به شعاع 55 میکرومتر، ضخامت 9 میکرومتر و دو موجبر به ضخامت 9 میکرومتر است. فاصله جفتشدگی، حلقه و موجبر 4 میکرومتر است.
منابع مشابه
ساخت و بررسی ویژگی‌های ساختاری و نوری نانولولههای اکسید قلع به روش سل ژل و با استفاده از قالب آلومینا
SnO2 nanotubes have been synthesized via sol-gel template method using alumina membrane. Synthesis parameters, such as sol preparation conditions, the required time of immersion and annealing conditions, were optimized to obtain the SnO2 nanotubes with well defined composition. Transmission electron microscopy (TEM) and X-ray diffraction techniques have been used to investigate the structure an...
متن کاملنئولیبرالیسم به مثابة صنعت لیتوگرافی
چکیده این جستار کوشیده است تا با رویکرد بین رشتهای ، نئولیبرالیسم را به مثابة لیتوگرافی، صنعت نشر و سطحی‌کردن، به بوتة نقد بگذارد. در بعد زیبایی‌شناسانه، لیتوگرافی، اثر هنری را از ذات تهی و راز‌زدایی کرده و به امر اقتصادی تقلیل میدهد. در بعد اقتصادی، با اختراع پول قابل چاپ به جای سکه، قدرت انتشار و اشغال سطوح را به دلیل عدم محدویت سکه‌های فلزی از حیث میزان موجود در عالم خارج، به‌دست آورده و ...
متن کاملساخت و مشخصه یابی قطعات نانومتخلخل از جنس سیالون بتا به روش قالب ریزی ژل
محافظت از آنتن در برابر عوامل خارجی (باد، باران و برخورد اشیا و پرندگان) توسط رادوم صورت می گیرد. به منظور ساخت رادوم با توان کارکرد در دمای زیاد (بیش از 1000 درجه سانتیگراد)، مناسب پرنده های مافوق صوت (10-5 ماخ)، از سرامیک های مهندسی استفاده می شود. رادوم علاوه بر خواص مکانیکی قابل قبول، باید از ثابت دی الکتریک و تانژانت اتلاف مناسب برخوردار باشد تا بر عملکرد آنتن تاثیر منفی نگذارد. ایجاد تخلخ...
متن کاملطراحی و ساخت سیستم مراقبت از خونرسانی بافت تحت فشار به روش نوری
چکیده زمینه و هدف: یکی از مشکلات عمده بشر، عوارض ناشی از عدم خونرسانی کافی به بافت و ایجاد زخمهای فشاری در نقاطی از بدن است که در تماس پیوسته و تحت فشار با تکیه‌گاه است. با توجه به اینکه در اکثر موارد کاهش جریان خون در اثر انسداد بعنوان عامل اولیه در شکلگیری تخریب بافت تحت فشار و ایجاد زخم بستر معرفی شده است، هدف از این مطالعه، ساخت سیستم مراقبت از بافت تحت فشار مبتنی بر اندازهگیری تغییرات جر...
متن کاملفنآوری ساخت گیرنده نوری استوانه‌ای
In this research the Fourier transform of electric field in a three-layered model with thickness tj and dielectric erj is computed, after solving three dimensional Laplace equation for Fourier transform of potential under suitable boundary conditions.Then, by studying the behavior of spread function, a three-layered photoreceptor is designed. After designing and constructing of all of the subs...
متن کاملساخت و بررسی ویژگی های ساختاری و نوری نانولوله های اکسید قلع به روش سل ژل و با استفاده از قالب آلومینا
نانولولههای اکسید قلع به روش سل ژل و با به کارگیری قالب آلومینا ساخته شدند. پارامترهای ساخت از جمله مواد اولیه، مدت غوطه وری و شرایط بازپخت برای دستیابی به نانولولهها تعیین و بهینه شدند. برای بررسی ساختاری و ریختشناسی نانولولههای اکسید قلع از پراش سنج پرتو ایکس و تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی استفاده شد. تصویرهای به دست آمده از میکروسکوپ الکترونی تراگسیلی نشان میدهد که این نانولولهها به ...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه ولی عصر (عج) - رفسنجان - دانشکده علوم پایه
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023